Maßgeschneidertes High Purity-System zur Reinraumanbindung
LPW baut zweite Groß-Reinigungsanlage für Trumpf
Die Anforderungen im High Purity-Bereich der industriellen Teilereinigung werden immer komplexer – und somit auch die Ansprüche an die Anlagenhersteller. Die LPW Reinigungssysteme GmbH ist in dieser Sparte ein gefragter Partner und hat nun das zweite Groß-Reinigungssystem für die Trumpf Laser- und Systemtechnik in Ditzingen gebaut.
In der maßgeschneiderten High Purity-Anlage mit Reinraumanbindung werden künftig Komponenten für Baugruppen in der Optikmontage gereinigt. Als Vorlage diente die im Jahr 2018 gelieferte Schwesteranlage in der EUV-Fertigung, die seither zuverlässig ihre hochreinen Aufgabenstellungen erfüllt.
So erfolgte die Konzipierung des neuen Systems ebenfalls als Modell PowerJet. Diese ist mit drei Behandlungskammern und sechs Fluttanks ausgestattet, deren Reinigungs- und Spülprozesse sich neben den klassischen Verfahren (Spritzreinigung, Druckumflutprozesse, Mehrfrequenz-Ultraschall) auf das seit diesem Jahr patentierte Vakuum-Pulsverfahren
der Zyklischen Nukleation (CNp) abstützen.
Des Weiteren wurde die neu entwickelte ULTRA-Arbeitskammer für hochsaubere Prozesse integriert. Die Trocknung ist durch eine kombinierteVakuum-Infrarottechnologie mit minimaler Re-/Crosskontaminationslast gewährleistet. Darüber hinaus ist das Anlagensystem über vollautomatisierte Zuführautomation mit angepassten Laminar-Flow-Einheiten direkt an den Reinraum bei Trumpf über LPW-Reinraumschleusen angebunden. Die Rückführstrecke für die leerenWarenträger ist in der Gesamtautomation berücksichtigt.
Bei diesem Projekt war zudem das Applikationsengeneering-Team derRiedericher Reinigungsspezialisten hinsichtlich Energieeffizienz-Optimierung und auch in Bezug auf die infrastrukturelle Einbindung sowie Einbringung besonders gefragt. Denn die PowerJet steht im Trumpf-Gebäude auf zwei verschiedenen Etagen und musste daher entsprechend getrennt werden.
LPW-Geschäftsführer Gerhard Koblenzer: „Nicht nur Konzeption, Lieferung, Einbringung und Installation der Anlage ist für alle Projektbeteiligten grundsätzlich immer herausfordernd. Die Einbindung in die digitale und infrastrukturelle Umgebung stellt – bereits in der Planungsphase - einen ebenso intensiven Prozess dar. Nur mit einem hohen Maß an Projektkompetenz auf beiden Seiten, sind solche komplexen Aufgabenstellungen überhaupt erfolgreich umzusetzen.“
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